今日，我司受半導(dǎo)體制造企業(yè)委托，赴廠區(qū)完成Atlas Copco NGP800+制氮機(jī)組現(xiàn)場氮氣質(zhì)量全工況檢測，以第三方獨立數(shù)據(jù)驗證設(shè)備供氣穩(wěn)定性，出具現(xiàn)場氣體檢測報告，為芯片產(chǎn)線品質(zhì)管控提供依據(jù)。

半導(dǎo)體光刻、晶圓封裝工序?qū)Φ獨饧兌取⑽⒘侩s質(zhì)、露點指標(biāo)要求嚴(yán)苛，微量氧、水汽、碳?xì)潆s質(zhì)極易造成晶圓氧化、良率下滑。本次檢測針對 NGP800+ 制氮機(jī)出口氣源，嚴(yán)格依照 GB/T 8979、SEMI 電子特氣標(biāo)準(zhǔn)開展連續(xù) 72 小時不間斷現(xiàn)場采樣，采用了微量氧，微量水，微量油，0.1微米粒子計數(shù)器等精密設(shè)備，同步比對機(jī)組自帶在線監(jiān)測數(shù)據(jù)。氧、水分、CO、總烴等痕量雜質(zhì)均控制在 ppb 級別。

本次現(xiàn)場檢測同步完成設(shè)備產(chǎn)氣穩(wěn)定性、分子篩吸附效率綜合評估，區(qū)分在線監(jiān)測與第三方實驗室精準(zhǔn)檢測的數(shù)據(jù)差異，為企業(yè)建立氣源定期核驗機(jī)制提供專業(yè)建議。我司氣體檢測負(fù)責(zé)人表示，半導(dǎo)體行業(yè)高純氮氣第三方常態(tài)化檢測是產(chǎn)線合規(guī)與品質(zhì)保障關(guān)鍵，本次 NGP800 + 機(jī)組實測達(dá)標(biāo)案例，也印證大型一體化制氮設(shè)備可穩(wěn)定滿足電子制造嚴(yán)苛用氣需求。

氮氣純度

大灣檢測除了氮氣純度，壓縮空氣檢測，氣體檢測，塵埃粒子檢測，含油量檢測現(xiàn)場經(jīng)驗豐富。